- 전자식 액티브 제진대는 가속도나 속도 센서와 함께 변위 센서를 사용합니다.

- 전자식 액티브 제진대는 변위 센서 및 가속도나 속도 센서를 통해서 피드백, 피드 포워드 제어를 수행하며,

스테이지의 동작 신호를 받아서 스테이지 피드 포워드 제어를 합니다.

- 스테이지 피드 포워드 제어는 스테이지가 움직이면서 발생하는 진동을 감소시키기 때문에 Settling

Time을 더욱 개선해야 하는 경우에 사용합니다.