탁상형 액티브 제진대는 주로 가속도나 속도 센서를 사용하며, 공압식 액티브 제진대는 가속도나 속도 센서와 함께 변위 센서를 사용합니다. 변위 센서만 사용하는 공압식 액티브 제진대는 Semi active라고 하며, 변위에 대한 피드백 제어만 하기 때문에 일반적인 액티브 제진대에 비해 성능이 떨어집니다. 공압식 액티브 제진대는 변위 센서 및 가속도나 속도 센서를 통해서 피드백, 피드 포워드 제어를 수행하며, 스테이지의 동작 신호를 받아서 스테이지 피드 포워